Bird 8890-300SC13 RF-Koaxialtermination
Bird 8890-300SC13 RF Coaxial Termination
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Bird 8890-300SC13 ist eine 2,5-kW-ölgekühlte RF-Koaxialtermination mit 28-MHz-Betrieb und LC-Buchse für Plasmaverarbeitungsanwendungen.
Produktdetails
| Modell | 8890-300SC13 |
| Hersteller | Bird |
| Kategorie | HF-Abschlüsse |
| Verfügbarkeit | Auf Anfrage |
Beschreibung
Überblick
Die Bird 8890-300SC13 ist eine 2,5-kW-ölgekühlte RF-Koaxialtermination für Plasmaverarbeitungsanwendungen, die präzise HF-Leistungsregelung und -steuerung erfordern. Sie bietet eine Schlüsselkomponente zur Gewährleistung genauer und wiederholbarer HF-Leistungsabgabe mit minimaler VSWR-Variation über prozessrelevante Frequenzen, wodurch konsistenter und zuverlässiger Plasmakammer-Betrieb ermöglicht wird.
Hauptmerkmale
- Niedriges VSWR mit weniger als 0,1 dB Gesamtänderung bei prozessrelevanten Frequenzen
- Ölgekühltes Design für zuverlässigen kontinuierlichen Betrieb bei voller Nennleistung
- Keine Aufwärmphase erforderlich für konsistente Leistung
- LC-Buchse für 28-MHz-Frequenzbereich
- Präzisions-HF-Leistungstermination für genaue Generator-Kalibrierung und Überwachung
Anwendungen
- Plasmaverarbeitungskammern, die stabile HF-Leistungsabgabe erfordern
- HF-Generator-Prüfung, Kalibrierung und Lastanpassung
- Industrie-Plasmaausrüstung und Halbleiterverarbeitung
Technische Daten
| Connector Type | LC, Female |
| Frequency | 28 MHz |
| Series | 8890-300 Series |
| Certifications | RoHS |
| Dimensions | 21.75 x 7.5 x 17.25" |
| Finish | Black Epoxy Resin |
| Impedance | 50 Ω |
| Operating Temperature Range | 5-40°C |
| Power | 2.5 kW |
| Special Features | Oil-Cooled |
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