Keithley 4200A-SCS Parametrisches Analysator-System

Überblick

Der Keithley 4200A-SCS ist ein umfassendes Parameteranalysator-System, das für die Halbleitergerätecharakterisierung konzipiert ist und DC I-V-, Kapazitäts-Spannungs- (C-V) und ultraschnelle gepulste I-V-Messfähigkeiten auf einer einzigen Plattform kombiniert. Das System integriert sich mit automatisierten Wafer-Prober-Systemen und Kryogen-Temperaturreglern für komplette Gerätetests-Workflows in Forschungs-, Zuverlässigkeits- und Geräteentwicklungsanwendungen.

Wichtigste Merkmale

• Synchronisierte DC I-V-, C-V- und gepulste I-V-Messungen in einem System
• 4215-CVU Kapazitätsmodul mit 1 V AC-Quelle, 1 kHz bis 10 MHz Frequenzbereich, Single-Digit-Femtofarad-Auflösung
• 4200A-CVIV Multi-Switch für automatisches Kanal-Umschalten ohne Umverdrahtung oder Prober-Hub
• Modulare SMU (Source Measure Unit) Architektur mit bis zu 9 Kanälen für Niedrigstrom-Messungen bis Femtoamps
• Clarius-Softwareplattform mit Hunderten von vordefinierten Anwendungstests und Echtzeit-Parameterextraktion
• Feldinstallierbare Module und optionale Vorverstärker für Messfähigkeits-Flexibilität
• Vollständige Integration mit MPI-, Cascade Microtech- und anderen Wafer-Prober-Systemen

Anwendungen

• Halbleiter-Geräte-Parameterextraktion und Fehleranalyse
• Wafer-Ebenen- und verpackte Gerätecharakterisierung
• Prozessentwicklungs- und Ausbeute-Verbesserungsstudien
• Materialscharakterisierung und Zuverlässigkeitstests
• Kryogen-Temperatur-Gerätetests und -Analysen