Keithley 595 Quasistatisches C-V-Kapazitätsmessgerät
Keithley 595 Quasistatic C-V Capacitance Meter
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Keithley 595 quasistatisches C-V-Messgerät zur MIS-Gerätetestrung, Messung von Kapazität (10 fF–20 nF) und Strom (1 fA–200 µA) mit automatischer Leckage-Korrektur.
Produktdetails
| Modell | 595 |
| Hersteller | Keithley |
| Kategorie | HF-Leistungsmesser |
| Verfügbarkeit | Auf Anfrage |
Beschreibung
Übersicht
Der Keithley 595 ist ein spezialisiertes Gerät zur Messung quasistatischer Kapazitäts-Spannungs-(C-V-)Kennlinien von Metall-Isolator-Halbleiter-(MIS-)Halbleiterbauelementen. Er bietet präzise C-V-Messungen in Kombination mit Gleichstrommessfähigkeiten, mit integrierter Korrektur und Diagnose, um genaue Ergebnisse auch bei langsamen Spannungsdurchläufen zu gewährleisten, die moderne Bauelemente benötigen.
Hauptmerkmale
- Misst quasistatische Kapazität von 10 fF bis 20 nF
- Gleichstrommessung von 1 fA bis 200 µA
- Automatische Korrektur von Kapazitätsmessungen für Hintergrund-Leckageströme
- Schnelle Sicherung des Bauelement-Gleichgewichts
- Überragende Signal-Rausch-Leistung bei langsamen Spannungsdurchläufen
- Umfassende Diagnose für zuverlässige Testergebnisse
Anwendungen
- MIS-Bauelemente-Charakterisierung und Testrung
- Halbleiter-Prozessentwicklung und Qualifizierung
- Bauelement-Zuverlässigkeit und Fehleranalyse
- Waffel- und Bauelement-Abnahmetestrung
Technische Daten
| Capacitance Range | 10 fF to 20 nF |
| DC Current Range | 1 fA to 200 µA |
| Measurement Type | Quasistatic C-V characteristics |
| Device Type | Metal Insulator Semiconductor (MIS) |
| Signal Processing | Built-in leakage current correction |
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